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TOP 新着情報お知らせ2021 機械工学コース 保坂篤紀さん(真田・水嶋研究室)がAsian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT)でBest Presentation Awardを受賞しました
2021.11.04
お知らせ
機械工学コース 保坂篤紀さん(真田・水嶋研究室)がAsian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT)でBest Presentation Awardを受賞しました
機械工学コース 保坂篤紀さん(真田・水嶋研究室)が、Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT)(2021年10月29日、Web開催)においてBest Presentation Awardを受賞しました。
発表題目:Measurement of near-surface brush volume ratio and nodule volume change for moving PVA brushes
著者:Atsuki Hosaka, Yuki Mizushima, Satomi Hamada, Ryota Koshino, Akira Fukunaga, Toshiyuki Sanada
Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT) HP:
http://www2.kanazawa-it.ac.jp/ishiune/awpt/awpt
真田・水嶋研究室(混相流体工学研究室)HP:
https://wwp.shizuoka.ac.jp/multiphase/
発表題目:Measurement of near-surface brush volume ratio and nodule volume change for moving PVA brushes
著者:Atsuki Hosaka, Yuki Mizushima, Satomi Hamada, Ryota Koshino, Akira Fukunaga, Toshiyuki Sanada
Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT) HP:
http://www2.kanazawa-it.ac.jp/ishiune/awpt/awpt
真田・水嶋研究室(混相流体工学研究室)HP:
https://wwp.shizuoka.ac.jp/multiphase/

賞状