電子物質科学コース 修士2年 福嵜 遼さん（須田研究室）が2020年度精密工学会秋季大会学術講演会においてベストプレゼンテーション賞を受賞しました

工学専攻・電子物質科学コース 修士2年 福嵜 遼さん（須田研究室）が、2020年度精密工学会秋季大会学術講演会（2020年9月1日～7日オンライン開催）においてベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

講演題目：「熱酸化シリコンを用いたガラスのCMP過程における電流電圧変化」
著者：福嵜 遼，須田 聖一

2020年度 精密工学会秋季大会学術講演会 Webpage：
http://www.jspe.or.jp/event/jspe_meeting/2020-09autumn/

須田研究室 HP：
http://sudalab.eng.shizuoka.ac.jp/