機械工学コース 保坂篤紀さん(真田・水嶋研究室)がAsian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT)でBest Presentation Awardを受賞しました

機械工学コース 保坂篤紀さん(真田・水嶋研究室)が、Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT)(2021年10月29日、Web開催)においてBest Presentation Awardを受賞しました。

発表題目:Measurement of near-surface brush volume ratio and nodule volume change for moving PVA brushes
著者:Atsuki Hosaka, Yuki Mizushima, Satomi Hamada, Ryota Koshino, Akira Fukunaga, Toshiyuki Sanada

Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT) HP:
http://www2.kanazawa-it.ac.jp/ishiune/awpt/awpt

真田・水嶋研究室(混相流体工学研究室)HP:
https://wwp.shizuoka.ac.jp/multiphase/

機械工学コース 保坂篤紀さん(真田・水嶋研究室)がAsian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT)でBest Presentation Awardを受賞しました
賞状(クリックで拡大します)

前に戻る